諧振腔諧振參數(shù)的優(yōu)化與設(shè)計(jì).pdf

1、在工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域，尤其是在金剛石膜的沉積過程中，諧振腔的品質(zhì)參數(shù)一直是制約金剛石膜的質(zhì)量以及沉積速度的關(guān)鍵因素。傳統(tǒng)的提高M(jìn)PCVD諧振腔品質(zhì)參數(shù)的方法是通過調(diào)節(jié)諧振腔的外觀尺寸或控制輸入功率，但由于傳統(tǒng)方法的局限性，致使MPCVD諧振腔的諧振頻率、品質(zhì)因數(shù)、電磁場的分布以及輸出功率無法得到大幅度的提高。為了進(jìn)一步改進(jìn)MPCVD的品質(zhì)參數(shù)，本文引入性質(zhì)與傳統(tǒng)材料具有一定差別的“左手材料”。根據(jù)“左手材料”有別于傳統(tǒng)介質(zhì)的特殊性質(zhì)，通過FD

2、TD理論計(jì)算與HFSS模擬仿真相結(jié)合的方法，對影響MPCVD諧振腔品質(zhì)參數(shù)的因素進(jìn)行分析整理，研究填充介質(zhì)的材料屬性與諧振腔的電磁場分布、品質(zhì)因數(shù)、諧振頻率的關(guān)系，總結(jié)各個(gè)因素的作用效果以及作用機(jī)理。重點(diǎn)探究填充介質(zhì)的材料屬性與諧振腔品質(zhì)因數(shù)、諧振頻率、輸出功率以及等離子體分布的關(guān)系。數(shù)據(jù)分析結(jié)果與仿真結(jié)果顯示:左手材料的填充可以改善諧振腔內(nèi)部電磁場的分布情況，提高諧振腔的諧振頻率以及品質(zhì)因數(shù)。相較于傳統(tǒng)材料而言，左手材料可以使諧振腔內(nèi)