RF MEMS移相器的設計與分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、與傳統(tǒng)移相器相比，RF MEMS移相器具有低損耗、寬頻帶、微型化，同時與IC、MMIC電路易于系統(tǒng)集成等優(yōu)點。受制于材料、微電子工藝等基礎工業(yè)水平的限制，目前國內鮮有Ka波段RFMEMS移相器見諸報端。
　　本篇文章首先介紹了MEMS技術和RF MEMS技術，并闡述了RFMEMS技術的市場前景。接下來介紹了RF MEMS移相器中最重要的基本元件RF MEMS開關，重點介紹了RF MEMS電容式開關和RF MEMS接觸式開關，并且對

2、一種RF MEMS電容式開關進行了電磁仿真和機電性能仿真。在前面章節(jié)仿真和分析的基礎上，本文接著分別介紹了DMTL型、反射型、開關線型和開關網(wǎng)絡型移相器的國內外發(fā)展情況以及工作原理。最后提出設計一款DMTL型移相器。
　　在本文中，設計一種Ka波段DMTL型RF MEMS移相器，它采用了15個MEMS電容式并聯(lián)開關，同時在MEMS開關中加入MIM電容，實現(xiàn)了4位相移。文中對Ka波段4位RF MEMS移相器進行設計與分析，通過MEM

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