微波薄膜移相器的設(shè)計.pdf

1、本文對微波薄膜移相器的原理做了理論研究，對微波薄膜移相器做了設(shè)計，討論了移相器各部分的尺寸變化對器件性能的影響。根據(jù)鐵氧體材料的旋磁特性設(shè)計了鐵氧體薄膜移相器。鐵氧體材料的磁導率顯示了張量特性，當外加磁場的強度和方向變化時，鐵氧體的磁導率也將會發(fā)生改變，從而改變了鐵氧體的傳播常數(shù)，也就改變了電磁波的傳播特性，這樣就產(chǎn)生了相移，相移的大小受到恒穩(wěn)磁場的控制。薄膜材料和基片材料采用的是YIG（釔鐵石榴石）和 GGG（釓鎵石榴石），導體材料采

2、用的是金。分析了已有的幾種薄膜移相器，對它們的原理和結(jié)構(gòu)進行了研究，設(shè)計出了一種基于共面波導結(jié)構(gòu)的鐵氧體移相器。根據(jù)微波平面?zhèn)鬏斃碚摵蛯π挪牧咸匦缘姆治?，獲得波動傳輸方程，計算出了移相器的各部分尺寸。對鐵氧體材料、基片材料和金屬導體材料進行了篩選，研究了移相器的傳輸特性，對移相器各部分尺寸進行了設(shè)計、仿真和優(yōu)化。利用HFSS軟件對共面波導結(jié)構(gòu)的性能進行了模擬仿真，對移相器各部分尺寸做了優(yōu)化，研究了中心導線的寬度、共面波導間隙、薄膜厚度